蔡司三坐标测量机(CMM)配件组成：
触控笔/探针尖
接触式三坐标测量机的测针通常具有球形直径。探头尖通常使用硬质材料 - 红宝石和氧化锆是常见的。
除了球形之外，还可以使用具有锋利尖的针型。
花岗岩台
为了实现高精度的测量，三坐标测量机的表面通常是由石头制成的平台。石材面板随着时间的推移形状变化非常小，不易划伤，因此具有可以长期稳定使用的优点。
夹具
使用坐标测量机的更关键的工具之一是用于将测量目标固定到位的夹具。
测量目标固定的原因是在 CMM 操作期间不会移动，因为零件移动会导致错误。通常使用固定板、夹具和磁铁等工具
空气压缩机和干燥机
机械驱动的坐标测量机需要带有干燥器的空气压缩机。可以找到标准桥式或龙门式 CMM。
软件
多测头坐标测量机的软件大致有两种。一个是每个测量机制造商独立开发的用于自己的测量机的软件比如蔡司三坐标软件calypso。
二是第，三方开发的软件，可供多家厂商的测量仪器使用。
如何使用三坐标测量机 (CMM)：
测量前将测量目标放在计量实验室中至少 5 小时，以使目标调整到室温(通常为 68°F)。这将防止由于热膨胀引起的测量误差和差异。通过手动或使用控制 PC 将探头引导到所需的测量位置来执行测量。CMM 将记录探头位置的 X、Y、Z 坐标。随着点的继续进行，系统软件将计算指定的尺寸，例如直径、长度、角度和其他关键尺寸。
测针校准(探头校准)：
为了准确地开始测量，必须对与物体接触的触针(探针尖，端)进行校准，原因有两个。首先是识别手写笔的球心坐标。二是设置测针球体直径。通过设置直径，可以通过将半径从实际接触点(球体外部)偏移到球体中-心坐标来计算。对于校准，通常使用具有已知球形度的球体，称为参考球体。
使用注意事项：
虽然有些型号可以进行 0.1 μm 量级的测量，但正确使用和管理对测量精度至关重要。验证使用过程中活动部件水平和垂直移动。此外，使用测量标准或类似物体检查指示错误。为了执行准确的测量，在计量实验室中让目标温度调整到室温至关重要。或者，必须设置测量参数以校正任何温差。对于接触式测头，确保测头在测量过程中以恒定速度接触目标是很重要的。
维护和校准：
定期三坐标测量机需要定期维护和检查，以便连续进行高精度测量。尤其是采用滑动部件机械驱动的桥式三坐标测量机，需要定期更换磨损部件、润滑和清洁系统以获得好的性能。
